defter*
defter / katalog / MSN 551
MSN 551

Introduction to Micro and Nanofabrication

MSN 551 walks you through how micro- and nanoscale devices actually get built, the full toolkit of deposition, lithography, etching, doping, and the process integration logic that turns those steps into something like a CMOS transistor or a MEMS sensor. Most of your time goes into lab sessions on each major technique and a multi-week fabrication project where you design and justify a full process flow, alongside a midterm, quizzes, and a final. It's a graduate-level entry point for anyone heading into semiconductor devices, MEMS/NEMS, or photonics research, giving you the vocabulary and hands-on intuition to read cleanroom-based papers and start working in a fab.

Kredi3ECTS5BölümMaterials Science and NanotechnologyKoordinatörHilmi Volkan Demir

Haftalık müfredat 14 hafta

Hafta 114–20 Eyl
Giriş ve microfabrication temel kavramları
Introduction + Fundamental concepts in microfabrication
girişmicrofabricationtemel kavramlar
Hafta 221–27 Eyl
Çökelme
Deposition
deposition
Hafta 328 Eyl – 4 Eki
Lab I: CVD ile deposition
Lab Session (I): Deposition, CVD
depositionCVD
Hafta 45–11 Eki
Litografi
Lithography
Hafta 512–18 Eki
Lab II: Photolithography
Lab Session (II): Photolithography
photolithography
Hafta 619–25 Eki
Etching
Hafta 726 Eki – 1 Kas
Lab III: Etching
Lab Session (III): Etching
etching
Hafta 82–8 Kas
Tekrar ve midterm sınavı
Review & Midterm exam
tekrarmidterm exam
Hafta 99–15 Kas
Doping
Hafta 1016–22 Kas
Lab IV: PVD ile deposition
Lab Session (IV): Deposition, PVD
depositionPVD
Hafta 1123–29 Kas
Process flow tasarımı ve entegrasyonu
Process flow design & Process integration
process flow designprocess integration
Hafta 1230 Kas – 6 Ara
Fabrication projesi çalışması, I
Fabrication project, I
fabricationproje çalışması
Hafta 137–13 Ara
Fabrication projesi çalışması, II
Fabrication project, II
fabricationproje çalışması
Hafta 1414–20 Ara
Fabrication projesi çalışması, III
Fabrication project, III
fabricationproje çalışması

Bu dersi alınca · 2 öğrenme çıktısı

Bilkent'in resmî syllabus'ünden. Sağdaki etiket o çıktının hangi değerlendirmeyle ölçüldüğünü söylüyor.

Ders notları · henüz yok

MSN 551 için defter ekibi henüz not yazmadı.

İlk dosyayı sen atarsan: not, slayt, geçmiş sınav, çözüm, cheat-sheet, ne varsa. defter ekibi öğrenci paylaşımlarından bu dersin notlarını yazar. Drive linki / PDF / ZIP, hepsi olur.

← katalog

Geçmiş GPA dağılımı 13 dönem · ort. 3.66

DönemCourse CPA
2024-2025 Spring 3.66 1 sec · 22 öğr
2020-2021 Spring 3.78 1 sec · 20 öğr
2019-2020 Spring 3.55 1 sec · 23 öğr
2018-2019 Spring 3.51 1 sec · 22 öğr
2017-2018 Fall 3.84 1 sec · 12 öğr
2015-2016 Fall 3.48 1 sec · 26 öğr
2014-2015 Fall 3.49 1 sec · 42 öğr
2013-2014 Fall 3.30 1 sec · 24 öğr
2012-2013 Fall 3.67 1 sec · 28 öğr
2011-2012 Spring 3.64 1 sec · 20 öğr

Aggregate course GPA · Bilkent STARS'tan public data. Hoca-bazlı per-section detayı için STARS evaluation report →. Öğrenci anket cevapları KVKK kapsamında defter'de tutulmaz. Tüm derslerin ortalamaları →

2026-2027 Güz için şubesi henüz görünmüyor. Kayıt sistemi bu dersi bu dönem listelemiyor, ama şube girişi sürüyor: ders kaydı 15 Eylül, bölümler o güne kadar şube ekleyebiliyor. Son 4 güz döneminde açılmamış; en son 2017-2018 güz döneminde açılmış. Ön kayıt müfredat üzerinden yapılıyor, açılan şube listesi üzerinden değil; o yüzden ön kayıtta seçebildiğin bir dersin şubesi burada henüz görünmeyebilir. Kesin sonuç ders kaydında belli oluyor. kayıt tarihleri → · açık dersler

⚠️ FZ engelleyen şartlar

Course Learning Outcomes: Course Learning Outcome Assessment Demonstrate undestanding of basic process techniques used for fabrication of devices at the micro and nanoscale. Demonstrate knowledge the nanodevice basics, fabrication and characterization. Gain hands-on experience in cleanroom micro/nano-fabrication and materials/device characterization methods. Improve scientific report writing skills. Demonstrate knowledge the nanodevice basics, fabrication and characterization. Quiz Midterm:Essay

Hocalar 0 bu dönem · 4 geçmiş

Geçmişte ders veren (4 kişi)
Hilmi Volkan Demir, Çağlar Elbüken, Aykutlu Dana, Necmi Bıyıklı